石英玻璃擁有著良好的特性，比如說(shuō)它耐高溫、耐腐蝕、導(dǎo)熱均勻等等，因此可以很好地適用于制作石英玻璃三酸提純?cè)O(shè)備。石英玻璃的純度可以影響其性能的發(fā)揮，這一點(diǎn)也可以成為判斷石英玻璃質(zhì)量的重要標(biāo)準(zhǔn)。

我們知道，石英玻璃除了可以制作三酸提純?cè)O(shè)備，在半導(dǎo)體行業(yè)也發(fā)揮著重要作用，而用于半導(dǎo)體工業(yè)的石英玻璃，對(duì)純度的要求更為苛刻，純度是石英玻璃的重要指標(biāo)，對(duì)理化性能和使用性能影響甚大，如失透性、高溫。

微量的雜質(zhì)將給半導(dǎo)體材料的電性能和壽命以及集成度帶來(lái)嚴(yán)重的影響。由于半導(dǎo)體材料的純度要求控制在ppb數(shù)量級(jí)以下，因此石英玻璃則應(yīng)控制在PPm數(shù)量級(jí)以適應(yīng)半導(dǎo)體工業(yè)的需要。B的分凝系數(shù)近于1,較難除掉，是有害的雜質(zhì)之一，Cu、Fe、Ti等影響半導(dǎo)體的少子壽命，K、Na、Li是單晶材料產(chǎn)生微缺陷的有害雜質(zhì)。

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